測(cè)量精度: 0.9um起
特性：
工作臺(tái)與導(dǎo)軌的一體化設(shè)計(jì)，增加了設(shè)備的可靠性。
精密矩形橫梁和四面環(huán)抱式靜壓導(dǎo)軌設(shè)計(jì)，保證了測(cè)量穩(wěn)定性。
冷壓成型的全硬鋁合金移動(dòng)框架結(jié)構(gòu)，輕質(zhì)高效。
雷尼紹插槽式光柵RTLC系列測(cè)量位置反饋系統(tǒng)。
配置先進(jìn)的實(shí)時(shí)溫度補(bǔ)償系統(tǒng)，提高了產(chǎn)品溫度適用范圍。
多種豐富的測(cè)量配置可完成復(fù)雜的測(cè)量需求。
可提供多種測(cè)量應(yīng)用配置方案。
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格: 575、 7107、9128、 9158、9208
