2、圖像測(cè)量?jī)x在Z軸上的尺寸測(cè)量誤差（Ez）：測(cè)量誤差表示在垂直于圖像測(cè)量平面的方向和單軸方向上測(cè)量的示值誤差。

3、影像測(cè)量?jī)x測(cè)量頭尺寸測(cè)量誤差（Ev）：在不移動(dòng)平臺(tái)的情況下，圖像視場(chǎng)內(nèi)任意尺寸平面的測(cè)量誤差。

4、影像測(cè)量?jī)x測(cè)量的各截面測(cè)量結(jié)果的一致性（Ec）：影像測(cè)量?jī)x在光軸的不同截面上測(cè)量時(shí)，各截面坐標(biāo)原點(diǎn)與XY的投影的一致性平面可以理解為圖像測(cè)量?jī)x沿Z方向上下移動(dòng)時(shí)，Z軸與XY水平面的垂直度也可以反映測(cè)量頭在不同高度的圖像測(cè)量特性的一致性。

5、影像測(cè)量?jī)x二維檢測(cè)誤差（P2D）：使用影像測(cè)量?jī)x測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)圓的半徑。

6、影像測(cè)量?jī)x探頭的檢測(cè)誤差（PV）：使用影像測(cè)量?jī)x測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)圓的半徑。

7、影像測(cè)量?jī)x的變倍檢測(cè)誤差（Pz）：使用影像測(cè)量?jī)x測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)圓心坐標(biāo)在不同倍率下的變化范圍。